快速退火爐是集巧妙的結構設計和*的加熱方式于一體，使得體積和功率都大幅減小的同時，升降溫速率卻比傳統退火爐提升了數倍之多。它既可以通氣氛又可以抽真空，滿足了很多用戶對小樣品快速退火的工藝要求。快速退火爐采用蓄熱式燃燒系統，PLC控制爐溫爐壓，從材質到設計經過嚴格質量控制，熱效率高，實現快速加熱，快速完成退火熱處理工藝。節能環保，微電腦程序控制整個退火工藝過程，實時自動化計算退火工藝所需的功率。
快速退火爐采用進口紅外線加熱管加熱，造型新穎結構合理，爐體和爐管可以自由滑動，可實現快速升降溫。爐管內尺寸120MM，可以直接放下4英寸的材料。試樣反應區處在一個密閉的石英腔體內，在完成生產工藝的同時，也大大降低了間接污染試樣的可能性。快速退火爐用于半導體器件研發及生產等領域，可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火，氧化物生長以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。
快速退火爐保養注意事項：
1、如果快速退火爐使用或者是在長期不使用之后再次使用，那么就一定要現在120攝氏度的溫度下烘烤一個小時，然后再在300攝氏度的溫度下烘烤兩個小時才能使用，這樣主要是為了防止爐膛開裂。爐溫要盡量的不要超過額定的溫度，防止損壞加熱元件以及爐襯。一定不能向爐膛里面直接灌注各種溶解金屬以及液體，要保持爐內的清潔。
2、如果爐膛采用的是石英管的話，那么當溫度高于1000攝氏度的時候，石英管的高溫部分會出現不透明的情況，這種現象叫做失透，是連熔石英管的一個缺陷，屬于正常的現象。
3、在使用冷爐的時候，因為爐膛是冷的，所以需要大量的進行吸熱，這樣低溫段的升溫速度就不能過快，每個溫度段的升溫速率差別也不能太大，在設置升溫速率的時候，要充分的考慮燒結材料的物理化學性質，防止出現噴料情況，進而污染爐管。
4、要定期的檢查溫度控制系統的電器連接部分的接觸是不是完好的，要特別注意加熱元件的各個連接點的連接是不是緊固。
5、快速退火爐在使用一段時間之后，如果真空度降低的話，就要分別更換不銹鋼法蘭盤之間的耐溫硅膠圈，或者是重新安裝不銹鋼法蘭盤，提高系統的整體真空度。
快速退火爐操作便捷，電熱元件采用紅外燈管，升溫速度快，節省時間，滑動法蘭使裝卸樣品過程簡化，方便操作，可快速得到實驗結果，取消了反復的法蘭安裝過程，減少了爐管因安裝造成的損壞。
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