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KLA iMicro納米壓痕儀可輕松測(cè)量硬質(zhì)涂層、薄膜和小尺寸材料等。其準(zhǔn)確、靈活，并且用戶(hù)友好，可以提供壓痕、硬度測(cè)試、劃痕和納米級(jí)萬(wàn)能試驗(yàn)等多種納米力學(xué)測(cè)試。作動(dòng)器易于更換，能夠提供大范圍的動(dòng)態(tài)載荷和位移，對(duì)于從軟質(zhì)聚合物到硬質(zhì)金屬/陶瓷等材料，均可以進(jìn)行準(zhǔn)確而可重復(fù)的測(cè)試。模塊化的功能選項(xiàng)可以適配各種應(yīng)用：材料力學(xué)特性圖譜、頻率相關(guān)特性測(cè)試、劃痕和磨損測(cè)試以及高溫測(cè)試。

KLA NanoFlip納米壓痕儀可在真空和氣氛條件下，準(zhǔn)確、精密地進(jìn)行硬度、模量、屈服強(qiáng)度、剛度和其它納米力學(xué)性能的測(cè)試。無(wú)論在掃描電子顯微鏡(SEM)或是聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)中，NanoFlip均可出色完成微柱壓縮等測(cè)試，并將SEM圖像與力學(xué)測(cè)試數(shù)據(jù)同步。NanoFlip是一款緊湊、靈活的原位納米力學(xué)測(cè)試儀，其測(cè)試速度快，這對(duì)于在惰性條件下（例如手套箱中）測(cè)試非均質(zhì)材料至關(guān)重要。

KLA iNano®納米壓痕儀使測(cè)量薄膜、涂層和小體積材料變得更簡(jiǎn)單。準(zhǔn)確、靈活、用戶(hù)友好的儀器可以進(jìn)行多樣的納米材料力學(xué)測(cè)試，包括壓痕、硬度、劃痕和通用的納米尺度測(cè)試。大范圍的力和位移動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍允許對(duì)從軟聚合物到金屬的材料進(jìn)行精確和可重復(fù)的測(cè)試。 模塊選項(xiàng)可以適配各種應(yīng)用：材料性能分布圖、特定頻率的測(cè)試、劃痕和磨損測(cè)試以及高溫測(cè)試。

KLA Nano Indenter® G200X納米壓痕儀是一種易于使用的納米級(jí)力學(xué)測(cè)試工具，可快速提供精確的定量分析結(jié)果。G200X系統(tǒng)可處理從硬質(zhì)涂層到軟質(zhì)聚合物的各種樣品，并提供KLA Instruments納米壓痕儀產(chǎn)品線中全面的測(cè)試套件。