KLA iNano®納米壓痕儀采用了用于執行納米壓痕和通用納米機械測試的InForce 50作動器。InForce 50的50 mN力和50µm位移范圍允許該系統執行廣泛的測試。InView 軟件包靈活、現代，讓用戶輕松進行納米尺度測試。KLA iNano®納米壓痕儀是一個緊湊的平臺，內置有高速InQuest控制器和隔振機架。可以測試各種材料和裝置，包括金屬、陶瓷、復合材料、薄膜、涂層、聚合物、生物物質和凝膠。

功能

• InForce 50作動器用于電容位移測量和電磁力驅動，具有可互換的壓頭

• 軟件集成壓頭校準系統，精確的壓頭校準

• Inquest高速電子控制器，具有100kHz數據采集速率和20µs時間常數

• XY移動系統帶有易于安裝的磁性樣品架

• 具有數字變焦功能的集成顯微鏡，可獲得精確的壓痕定位

• ISO 14577和標準化測試方法

• 包含RunTest、ReviewData、InFocus報告、 InView University 在線培訓和InView移動應用程序的InView軟件包

應用

• 硬度和模量測量(Oliver-Pharr)

• 材料力學性能分布圖

• ISO 14577硬度測試

• 聚合物損耗因子

• 高溫納米壓痕測試

行業

• 大學、研究實驗室和研究所

• 半導體和封裝行業

• 聚合物和塑料

• MEMS：微機電系統/納米尺度通用測試

• 陶瓷和玻璃

• 金屬和合金

• 藥品

• 涂料和油漆

• 聚合物制造

• 復合材料

• 電池和儲能