熱重分析質譜儀可以檢測到非常低含量的雜質，這一手段越來越受歡迎。通過熱重加熱樣品，樣品會因揮發物的存在或者燃燒分解出氣體，這些氣體被傳輸到質譜儀中，加以識別。 由于質譜可以檢測材料非常低的含量，TG-MS聯用成為質量控制、產品安全和產品開發一個強有力的手段。熱重分析質譜儀是將熱重分析耦合到Hiden質譜儀上的一整套接口系統。能夠充分利用進樣毛細管快速響應和低死體積的優點，配合上受歡迎的TGA設備。