等離子清洗機真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。
 

　　隨著真空應用技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。
 

　　等離子清洗機真空泵操作方法：
 

　　1、開車前的檢查：
 

　　(1)手動盤動前級水環泵、中間羅茨泵、主羅茨泵聯軸器，檢查聯軸器是否有卡的現象。
 

　　(2)檢查各泵潤滑油是否在標準油位線上，如不足，立即加油。
 

　　2、開車及運行
 

　　(1)合上真空泵控制柜空氣開關。
 

　　(2)打開前級水環泵、中間羅茨泵、主羅茨泵冷卻水控制閥門。
 

　　(3)打開前級水環泵工作液進水閥門。
 

　　(4)觀察真空循環水罐玻璃管液位計水位，水位必須高于前級水環泵吸氣口。不足，則打開真空循環水罐冷卻水進水閥門，向罐內補水。打開前級水環泵吸氣口上四分銅球閥，檢查水環泵泵腔內是否充滿水，水流出說明泵腔內水已滿。
 

　　(5)將真空泵控制柜上主泵啟動/停止旋鈕，旋轉到開的位置。
 

　　(6)打開水環泵吸氣口上黑色球閥，按下前級水環泵啟動按鈕，水環泵開始運轉開始對系統抽氣拉真空。
 

　　(7)電接點壓力表黑色指針顯示真空度達到到-0.083MPa，中間羅茨泵自動啟動，約三分鐘后延時主羅茨泵啟動，整個機組開始對系統抽氣拉真空。