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PECVD法生長氮化硅薄膜是利用非平衡等離子體的特性，即等離子體分子、原子、離子或激活基團與周圍環(huán)境相同，而其中非平衡電子由于電子質(zhì)量很小，其平均溫度可以比其他粒子大一二個數(shù)量級，所以通常條件下，要高溫(300℃-450℃)才能實現(xiàn)許多反應(yīng)...

質(zhì)譜法(massspectrometry)常稱為質(zhì)譜(MS)，是一種利用質(zhì)量分析方法進行鑒定物質(zhì)結(jié)構(gòu)的儀器分析方法。質(zhì)譜分析法是通過對被測樣品離子的質(zhì)荷比的測定來進行分析的一種分析方法。被分析的樣品首先要離子化，然后利用不同離子在電場或磁場...

Harrick等離子清洗機是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子來達到傳統(tǒng)清洗方法無法達到的效果。等離子體是一種物質(zhì)狀態(tài)，也稱為第四種物質(zhì)狀態(tài)。向氣體施加足夠的能量使其電離，使其變成等離子體狀態(tài)。等離子體的“活性”成分包括離子、電子、活性基團、...

微波等離子去膠機是在（RIE）反應(yīng)離子刻蝕機的基礎(chǔ)上簡化改進而來，為小型等離子去膠機，具有體積小，性能優(yōu)良、用途多、工藝速率高、均勻性及重復(fù)性好、價格低、使用方便等特點。是各電子器件企業(yè)及科研單位、大專院校的機型。適合于微電子制作工藝中光刻...

熱重分析是指在程序控制溫度下測量待測樣品的質(zhì)量與溫度變化關(guān)系的一種熱分析技術(shù)，用來研究材料的熱穩(wěn)定性和組份。熱重分析在研發(fā)和質(zhì)量控制方面都是比較常用的檢測手段，在實際的材料分析中經(jīng)常與其他分析方法連用，進行綜合熱分析，全面準確分析材料。實驗...

PDC-002等離子清洗機包含PAC、PPC、HPC和SCE，可以滿足實驗室到工業(yè)的應(yīng)用、從低溫處理到帶冷卻處理的應(yīng)用、從鋁質(zhì)腔體到石英腔體的應(yīng)用、從簡單緊湊的設(shè)備到可以通過軟件進行延展的應(yīng)用，等等。該等離子清洗機，作為蝕刻系統(tǒng)，主要用在工...

等離子清洗機真空泵原理是兩個電極之間形成高頻交變電場，用真空泵在裝置的密閉容器中實現(xiàn)一定的真空度隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也越來越長，區(qū)域內(nèi)氣體在交變電場的激蕩下，形成等離子體。在真空和瞬時高溫狀態(tài)下，活性等離子...

Harrick等離子清洗機為一種綠色無污染的高精密干法清洗方式，可以有效去除表面污染物，避免靜電損傷。在集成電路的制程中，會產(chǎn)生許多種類的污染物，包括氟化樹脂、氧化物、環(huán)氧樹脂、焊料、光刻蝕劑等，這些污染物將嚴重影響集成電路及其元器件的可靠...

高功率等離子清洗機采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。等離子清洗機外接一臺真空泵，工作時清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，短時間的清洗就可以使有機污染物被*地清洗掉，同時污染物被真空泵抽走，其清...

微波等離子去膠機是一個典型的勻膠過程，其中包括滴膠，高速旋轉(zhuǎn)以及干燥（溶劑揮發(fā)）幾個步驟。滴膠這一步把光刻膠滴注到基片表面上，高速旋轉(zhuǎn)把光刻膠鋪展到基片上形成簿層，干燥這一步除去膠層中多余的溶劑。兩種常用的滴膠方式是靜態(tài)滴膠和動態(tài)滴膠。靜態(tài)...