擴展型等離子清洗機是利用等離子體清洗表面的技術，能夠有效去除物體表面的有機物和無機物。將待清洗的物體放在清洗室內，關閉清洗室的門。清洗室內包含一個空氣抽真空裝置，用于將清洗室內的空氣抽出，以創建一個真空環境。接下來，通過加入一定的工作氣體(通常是氬氣)，清洗室內的氣體開始發生放電現象，形成等離子體。等離子體是一個高度激活和復雜的氣體體系，其中包含了電子、陽離子、中性活性粒子、自由基和分子等。等離子體通過與待清洗物體表面的接觸，對物體表面進行清洗。

  

　　擴展型等離子清洗機具有廣泛的應用前景。主要用于清洗微米級或納米級表面的材料，應用領域主要包括：
 

　　1.微電子行業：等離子清洗機用于清洗半導體芯片、集成電路、微電子器件等微米級別的電子元件。清洗過程可以去除雜質、有機物和金屬離子等，提高電子元件的性能和可靠性。
 

　　2.光伏行業：用于清洗太陽能電池板的表面，去除塵埃、油脂和其他雜質，提高光伏電池的轉換效率和發電量。
 

　　3.光學行業：可用于清洗光學器件、光學鏡片、光學纖維等微米級別的光學元件。清洗后可降低光學元件的表面反射率，提高透光率和光學性能。
 

　　4.材料研發和制備：等離子清洗機可用于清洗納米顆粒、薄膜和納米材料等微米級別的材料，去除表面的有機物、雜質和氧化物等。清洗后可提高材料的表面活性和附著能力，有利于材料的研究和制備。
 

　　5.生物醫學行業：用于清洗微米級別的生物醫學器械、醫用器具、植入物等，去除細菌、病毒和其他有害微生物，提高產品的衛生安全性。
 

　　6.精密機械行業：用于清洗精密機械零部件、精密儀器、機械表面等微米級別的精密零件。清洗后可提高機械零件的精度和壽命，減少摩擦和磨損。