等離子清洗機的關鍵是低溫等離子體的應用，它主要依賴于高溫、高頻、高能等外界條件產生，是一種電中性、高能量、全部或部分離子化的氣態物質。低溫等離子體的能量約為幾十電子伏特，其中所包含的離子、電子、自由基等活性粒子以及紫外線等輻射線很容易與固體表面的污染物分子發生反應而使其脫離，進而可起到清洗的作用。同時由于低溫等離子體的能量遠低于高能射線，因此此技術只涉及材料表面，對材料基體性能不產生影響。
等離子清洗機的等離子清洗可以與處理對象無關地進行。它可以處理各種材料，無論是金屬、半導體、氧化物還是聚合物材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂和其他聚合物)都可以用等離子體處理。因此，它特別適用于不耐熱和耐溶劑的材料。還可以選擇性地對材料的整體、局部或復雜結構進行局部清洗。當清潔和去污完成時，材料本身的表面性能可以得到改善。例如改善表面的潤濕性和改善膜的粘附性，這在許多應用中是非常重要的。
等離子清洗機主要由三大部分組成：
1. 控制單元。現在的清洗機主要有全自動控制、半自動控制、PC控制、液晶觸摸屏控制四種控制單元，而控制單元主要由電源、控制系統、控制按鈕和操作顯示器等部分組成。
2. 真空腔體。真空腔體就是用于清洗對象物的空間，主要有石英腔體和不銹鋼真空腔體。由于其內部采用真空滅菌防菌以及等離子清洗法，對于腔體壓力的承受有著一定的要求，所以需要采用材質較好的腔體進行配置。
3. 真空泵。等離子清洗機的主要動力來源就是真空泵，主要作用是將真空腔體中的空氣抽干，達到真空的環境，然后再進行等離子清洗。真空泵主要分為干泵和油泵。干泵主要以電力為動力源，而油泵則使用汽油或柴油為動力源。
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