P-7探針式輪廓儀是一種高精度的表面形貌測(cè)量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、MEMS、太陽(yáng)能、光電子等領(lǐng)域。其基本工作原理可以概括為以下幾點(diǎn)：
 

　　1.接觸式測(cè)量：采用物理探針接觸樣品表面的方式進(jìn)行測(cè)量。探針通常為金剛石材質(zhì)，曲率半徑在50nm至25μm之間可選。在測(cè)量過(guò)程中，探針以微牛級(jí)的接觸力掃描樣品表面，通過(guò)內(nèi)置的位移傳感器記錄探針的垂直位移量。
 

　　2.位移傳感與信號(hào)轉(zhuǎn)換：當(dāng)探針在樣品表面劃動(dòng)時(shí)，表面的微觀凹凸會(huì)使探針產(chǎn)生垂直位移。這一位移被高精度的位移傳感器捕捉并轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。P-7輪廓儀采用了電容式傳感器，具有亞埃級(jí)別的分辨率，能夠準(zhǔn)確測(cè)量探針的微小位移。
 

　　3.數(shù)據(jù)采集與處理：位移傳感器將機(jī)械位移轉(zhuǎn)化為電信號(hào)后，經(jīng)過(guò)放大、濾波等處理步驟，重建出樣品的三維輪廓圖像。這一過(guò)程涉及復(fù)雜的算法和數(shù)據(jù)處理技術(shù)，以確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
 

　　4.雙模式檢測(cè)：值得一提的是，P-7探針式輪廓儀還結(jié)合了白光干涉非接觸測(cè)量與掃描探針接觸式測(cè)量?jī)煞N模式，進(jìn)一步提高了測(cè)量的靈活性和準(zhǔn)確性。
 

　　P-7探針式輪廓儀的測(cè)定步驟：
 

　　-測(cè)量前準(zhǔn)備：確保設(shè)備處于穩(wěn)定的工作環(huán)境中，環(huán)境溫度、濕度需符合設(shè)備要求，避免因環(huán)境因素影響測(cè)量精度。接通電源后，啟動(dòng)輪廓儀主機(jī)和配套的控制軟件，等待設(shè)備完成自檢。自檢過(guò)程中，注意觀察設(shè)備指示燈狀態(tài)以及軟件提示信息，若出現(xiàn)異常報(bào)警，需及時(shí)聯(lián)系專業(yè)人員排查故障。完成設(shè)備啟動(dòng)后，要對(duì)輪廓儀進(jìn)行校準(zhǔn)。校準(zhǔn)通常采用標(biāo)準(zhǔn)樣板，將標(biāo)準(zhǔn)樣板放置在工作臺(tái)上，通過(guò)軟件操作，讓測(cè)針與標(biāo)準(zhǔn)樣板接觸，按照軟件提示進(jìn)行校準(zhǔn)操作，校準(zhǔn)完成后記錄校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
 

　　-放置樣品：使用大理石臺(tái)右側(cè)的操作手柄，調(diào)整測(cè)針的位置，使其移動(dòng)到被測(cè)工件上方，確保測(cè)針與被測(cè)工件之間保持適當(dāng)?shù)木嚯x，避免在測(cè)量過(guò)程中發(fā)生碰撞。
 

　　-設(shè)置掃描參數(shù)：根據(jù)被測(cè)工件的形狀和測(cè)量要求，合理設(shè)置掃描路徑。
 

　　-開(kāi)始測(cè)量：確認(rèn)各項(xiàng)參數(shù)設(shè)置無(wú)誤后，點(diǎn)擊軟件上的“開(kāi)始測(cè)量”按鈕，輪廓儀的測(cè)針會(huì)沿著設(shè)定的掃描路徑在工件表面進(jìn)行掃描測(cè)量。
 

　　-數(shù)據(jù)處理與分析：測(cè)量結(jié)束后，軟件會(huì)自動(dòng)生成測(cè)量報(bào)告，報(bào)告中包含膜厚、臺(tái)階高度、粗糙度等測(cè)量結(jié)果。用戶可以根據(jù)需要對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行進(jìn)一步的分析和處理。