熱重分析質譜儀可進行同位素分析、化合物分析、其他成分分析、以及金屬和非金屬固體樣品的超純痕量分析。熱重分析質譜儀的熱重分析是指在程序控制溫度下測量待測樣品的質量與溫度變化關系的一種熱分析技術，用來研究材料的熱穩定性和組份。熱重分析在研發和質量控制方面都是比較常用的檢測手段，在實際的材料分析中經常與其他分析方法連用，進行綜合熱分析，全面準確分析材料。