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KLA Filmetrics F10-ARc薄膜厚度測量儀便攜式反射儀帶有內部光纖，利用具有長壽命、低功率光源可以測量曲面上的減反射涂層厚度。以極低的價格在幾秒鐘內測量到顏色、反射率和薄膜厚度。

KLA Filmetrics F10-AR薄膜厚度測量儀便攜式反射儀帶有內部光纖，利用具有長壽命、低功率光源可以測量曲面上的減反射涂層厚度。以極低的價格在幾秒鐘內測量到顏色、反射率和薄膜厚度。

KLA Filmetrics R50系列四探針電阻測試儀，方塊電阻測試儀可對金屬層厚度、薄膜電阻、薄膜電阻率、薄膜電導和薄膜電導率進行測繪。R54是方塊電阻測量的最新一代升級款，它在保持 R50相同性能情況下提供遮光環境，能夠支持半導體和化合物半導體應用。

KLA NanoFlip納米壓痕儀可在真空和氣氛條件下，準確、精密地進行硬度、模量、屈服強度、剛度和其它納米力學性能的測試。無論在掃描電子顯微鏡(SEM)或是聚焦離子束(FIB)系統中，NanoFlip均可出色完成微柱壓縮等測試，并將SEM圖像與力學測試數據同步。NanoFlip是一款緊湊、靈活的原位納米力學測試儀，其測試速度快，這對于在惰性條件下（例如手套箱中）測試非均質材料至關重要。

KLA iNano®納米壓痕儀使測量薄膜、涂層和小體積材料變得更簡單。準確、靈活、用戶友好的儀器可以進行多樣的納米材料力學測試，包括壓痕、硬度、劃痕和通用的納米尺度測試。大范圍的力和位移動態測量范圍允許對從軟聚合物到金屬的材料進行精確和可重復的測試。 模塊選項可以適配各種應用：材料性能分布圖、特定頻率的測試、劃痕和磨損測試以及高溫測試。