薄膜厚度測量儀

簡要描述：KLA Filmetrics F50薄膜厚度測量儀采用自動化R-Theta平臺，支持標(biāo)準(zhǔn)和定制化樣品夾盤，最大樣品直徑達(dá)450毫米，能高效測繪薄膜厚度。該設(shè)備適用于多種厚度和類型的薄膜，包括薄至5納米或厚至250微米的薄膜，并可根據(jù)不同需求選擇不同波長范圍的型號。

產(chǎn)品型號： KLA Filmetrics F50

所屬分類：薄膜厚度測量儀

更新時間：2025-08-14

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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詳情介紹

自動化薄膜測繪，KLA Filmetrics F50薄膜厚度測量儀的產(chǎn)品能以每秒測繪兩個點(diǎn)的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平臺可接受標(biāo)準(zhǔn)和客制化夾盤，樣品直徑可達(dá)450毫米。(耐用的平臺在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬次的量測!)

測繪圖案可以是極座標(biāo)、矩形或線性的，您也可以創(chuàng)造自己的測繪方法，并且不受測量點(diǎn)數(shù)量的限制。內(nèi)建數(shù)十種預(yù)定義的測繪圖案。

不同的KLA Filmetrics F50薄膜厚度測量儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的。標(biāo)準(zhǔn)的 F50是受歡迎的產(chǎn)品。一般較短的波長 (例如， F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜，而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

包含的內(nèi)容：

集成光譜儀/光源裝置
光纖電纜
4", 6" and 200mm 參考晶圓
TS-SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn)
BK7 參考材料
整平濾波器 (用于高反射基板)
真空泵
備用燈

型號規(guī)格：

型號	厚度范圍	波長范圍
F50	20nm-70μm	380-1050nm
F50-UV	5nm-40μm	190-1100nm
F50-NIR	100nm-250μm	950-1700nm
F50-EXR	20nm-250μm	380-1700nm
F50-UVX	5nm-250μm	190-1700nm
F50-XT	0.2μm-450μm	1440-1690nm
F50-s980	4μm-1mm	960-1000nm
F50-s1310	7μm-2mm	1280-1340nm
F50-s1550	10μm-3mm	1520-1580nm