Model 656 紫外線光強(qiáng)與能量計(jì)

半個(gè)多世紀(jì)以來，OAI 在用于半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）、晶圓封裝和晶圓凸點(diǎn)制造等行業(yè)光刻工藝可靠、精準(zhǔn)校準(zhǔn)控制的紫外光強(qiáng)與能量測量儀器領(lǐng)域。新型 656 型是一款*的紫外曝光分析儀，專為接觸式 / 近接式掩模對(duì)準(zhǔn)器和泛光曝光系統(tǒng)設(shè)計(jì)。該儀器可存儲(chǔ)多達(dá) 400 組曝光讀數(shù)，配備以太網(wǎng)和 USB 接口用于下載記錄的測量數(shù)據(jù)，光強(qiáng)量程最高可達(dá) 2000 毫瓦每平方厘米。探頭可選波長包括 220 納米、248 納米、260 納米、310 納米、325 納米、365 納米、380 納米、400 納米、420 納米、436 納米和 540 納米。OAI 擁有完備的校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室，以保障我們儀器的性能、質(zhì)量和可靠性。656 型儀器可溯源至美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院（NIST）標(biāo)準(zhǔn)，且符合歐盟 RoHS 2（《關(guān)于限制在電子電氣設(shè)備中使用某些有害成分指令》第二版 ）和 CE（歐洲合格評(píng)定）認(rèn)證要求 。

與接觸式 / 接近式對(duì)準(zhǔn)器配合使用

極其精準(zhǔn)且可靠

測量數(shù)據(jù)易于下載

量程高達(dá) 2000 毫瓦每平方厘米

最多可存儲(chǔ) 400 組測量數(shù)據(jù)

符合 ROHS2（《關(guān)于限制在電子電氣設(shè)備中使用某些有害成分的指令》第二版 ）及 CE（歐洲合格評(píng)定）標(biāo)準(zhǔn) ，突出產(chǎn)品在環(huán)保及合規(guī)性方面的屬性 ，用于說明儀器適配場景、性能優(yōu)勢與合規(guī)情況 。

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Model 656 紫外線光強(qiáng)與能量計(jì)規(guī)格說明

儀表規(guī)格

用戶界面：觸摸屏

計(jì)算機(jī)接口：可選以太網(wǎng)和 USB 接口，用于下載已記錄的測量數(shù)據(jù)

電源：電池供電，采用帶充電保護(hù)的 3.7V 可充電鋰離子電池

充電器電源：110 - 240V 交流電壓

顯示設(shè)置：雙屏幕

設(shè)置屏幕 - 以太網(wǎng)地址、日期和時(shí)間

運(yùn)行屏幕 - 波長、光強(qiáng)、時(shí)間、劑量、探頭溫度、探頭類型、偏差百分比、序列號(hào)、校準(zhǔn)到期日期、電池狀態(tài)、探頭序列號(hào)和充電器狀態(tài)

存儲(chǔ)容量：最多 400 個(gè)讀數(shù)

光強(qiáng)范圍：最高 2000mW/cm2

光強(qiáng)分辨率：0.01mW/cm2

劑量范圍：最高 1000J/cm2

劑量分辨率：0.01mJ/cm2

時(shí)間范圍：最長 9999 秒

時(shí)間分辨率：0.0001 秒

最小劑量曝光：25 毫秒

尺寸：14 英寸 ×8.25 英寸 ×3.5 英寸

重量：3.5 磅

工作環(huán)境：15℃ - 40℃

合規(guī)性：符合 ROHS2 及 CE（電磁兼容性和安全）標(biāo)準(zhǔn)

探頭規(guī)格

探頭探測器：硅光電二極管

可選波長：220nm、248nm、254nm、260nm、310nm、325nm、365nm、380nm、400nm、420nm、436nm 和 540nm

濾光片：多層吸收 / 電介質(zhì)濾光片

光強(qiáng)范圍：最高 2000mW/cm2

互換性：任何 656 型探頭均可與任何 656 型儀表配合使用

合規(guī)性：符合 ROHS2 及 CE（電磁兼容性和安全）標(biāo)準(zhǔn)