Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機

簡要描述：關于Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機
SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠程等離子體清洗機基于勞倫斯伯克利國家實驗室開發(fā)的高效電感耦合等離子體（ICP）放電技術。與傳統(tǒng) ICP 放電技術相比，我們的 Turbo Discharge™技術進一步提高了等離子體強度多達 3 倍。

產(chǎn)品型號：

所屬分類：Semi-KLEEN Sapphire 等離子清洗機

更新時間：2025-06-25

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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詳情介紹

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機產(chǎn)品簡介

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機設計用于支持侵蝕性和腐蝕性工藝氣體。等離子室已被更耐化學腐蝕的藍寶石管所取代。真空密封設計和腔室材料的選擇已被優(yōu)化，以支持等離子體內(nèi)部的腐蝕性自由基。對于需要對石英腔室進行等離子體蝕刻的應用，SEMI-KLEEN 藍寶石是比傳統(tǒng)石英腔室等離子體源更好的選擇。

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機產(chǎn)品應用

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機已被用于存款薄膜，在原子層沉積系統(tǒng)中薄膜沉積之前清潔樣品表面，以及從金屬表面清潔碳和氧污染物。客戶的測試結(jié)果表明，SEMI-KLEEN 等離子體源僅需 2 秒的氫等離子體就可以去除 InGaAs 樣品中的碳和氧污染物。SEMI-KLEEN 藍寶石等離子體源可用于僅由渦輪泵或粗抽泵泵送的下游腔室。它可以在<0.5mTorr 到 2 Torr 以上的壓力范圍內(nèi)工作。

Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機