KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度測量儀

簡要描述：KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度測量儀系列，涵蓋近紅外光波長范圍980 nm、1310 nm及1550 nm，能夠測量從15納米至3毫米的薄膜厚度，適用于半導(dǎo)體與介電層等材料。該設(shè)備具備單點測量功能，配備10微米光斑尺寸的集成光譜儀和光源，并支持?jǐn)U展功能如自動化測繪平臺和不同波長選項。此外，它還提供了超過130種材料的數(shù)據(jù)庫支持，以及在線技術(shù)支持服務(wù)。

產(chǎn)品型號：

所屬分類：薄膜厚度測量儀

更新時間：2025-03-10

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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詳情介紹

KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度測量儀能測量半導(dǎo)體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度較為不佳

波長選配

KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度測量儀系列使用近紅外光來測量薄膜厚度，即使有許多肉眼看來不透光(例如半導(dǎo)體)。 F3-s980 是波長為980奈米的版本，是為了針對成本敏銳的應(yīng)用而設(shè)計,F3-s1310是針對重?fù)诫s硅片的最佳化設(shè)計,F3-s1550則是為了最厚的薄膜設(shè)計。

附件

附件包含自動化測繪平臺，一個影像鏡頭可看到量測點的位置以及可選配可見光波長的功能使厚度測量能力最薄至15奈米。

包含的內(nèi)容：

集成光譜儀/光源裝置
光斑尺寸10微米的單點測量平臺
FILMeasure 8反射率測量軟件
Si 參考材料
FILMeasure 獨立軟件 (用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析)
型號規(guī)格
型號厚度范圍波長范圍
F3-s980 1μm-1mm
960-1000nm
F3-s1310 15μm-2mm
1280-1340nm
F3-s1550 25μm-3mm 1520-1580nm