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KLA Alpha-Step®D-500探針式輪廓儀

簡要描述:KLA Alpha-Step®D-500探針式輪廓儀能夠測量幾納米到1200微米高的2D臺階。D-500也支持在研發和生產環節中對粗糙度、彎曲度和應力進行2D測量。D-500探針式輪廓儀搭載了140毫米手動載臺和具有增強影像控制的高級光學系統。

產品型號:

所屬分類:探針式輪廓儀

更新時間:2025-03-17

廠商性質:生產廠家

詳情介紹

KLA Alpha-Step®D-500探針式輪廓儀支持對臺階高度、粗糙度、彎曲度和應力進行2D測量。KLA Alpha-Step®D-500探針式輪廓儀創新的光學杠桿傳感器技術提供高垂直分辨率、長程垂直測量范圍和微力控制測量能力。

KLA Alpha-Step®D-500探針式輪廓儀

輪廓儀探針測量技術的一個優勢是它是接觸式直接測量,與材料特性無關。多種力度調節和探針選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。這可以對您的工藝進行量化,以確定添加或移除的材料量,以及通過測量粗糙度和應力來確定結構的任何變化。

特征

  • 臺階高度:納米級到1200微米

  • 微力:0.03至15毫克

  • 視頻:5MP高分辨率彩色相機

  • 梯形失真校正:可消除側視視圖造成的失真

  • 弧形校正:可消除探針的弧形運動引起的誤差

  • 小巧的尺寸:體積最小的臺式探針式輪廓儀

  • 軟件:用戶友好的軟件界面

KLA Alpha-Step®D-500探針式輪廓儀

應用

  • 臺階高度:2D臺階高度

  • 紋理:2D粗糙度和波紋度

  • 形狀:2D翹曲和形狀

  • 應力:2D薄膜應力

  • 臺階高度:2D臺階高度

  • 紋理:2D粗糙度和波紋度

  • 形狀:2D翹曲和形狀

  • 應力:2D薄膜應力

KLA Alpha-Step®D-500探針式輪廓儀

工業

  • 高校、實驗室和研究所

  • 半導體和化合物半導體

  • LED:發光二極管

  • 太陽能板

  • MEMS:微機電系統

  • 汽車

  • 醫療設備





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